圧力調整時の到達真空度

エアー圧力	到達真空度
	Lモード	Eモード
0.1（TYPE　DとF可）	-0.003	-0.006
0.2	-0.027	-0.027
0.3	-0.05	-0.055
0.4	-0.72	-0.085
0.45	-0.085	-0.091
0.55	-0.091	-0.091

単位MPa

数値確認はユニット本体のゲージ確認。